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公司名稱:旭豪真空科技有限公司
國家/地區:台灣
地址:新北巿土城區大安路142號
郵遞區號:23673

電話:886-2-8076-3000
傳真:886-2-8076-3300
公司網址:http://www.shang-haur.com

聯絡人1:徐建榮
職稱1:銷售經理
行動電話1:0932392460
電子信箱1:sh.vacuum@msa.hinet.net

聯絡人2:林永瑞
職稱2:經理
電子信箱2:jeff@sh-vacuum.com.tw


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SHIMADZU Turbo Molecular Pump TMP-403 Series 渦輪分子泵

數量:
  • TMP-403 Series
  • SHIMADZU
 SHIMADZU PUMP

TMP-403 Series  渦輪分子泵


•範圍廣,泵送吞吐量高
•支持數字電源
•各種監控功能
•已啟用網絡連接
•符合CE標誌,SEMI S2和NRTL
 
Turbo Molecular PumpTMP-403 Series

寬範圍和高泵送吞吐量
支持數字電源
各種監控功能
網絡連接已啟用
符合CE標誌,SEMI S2和NRTL

Standard Specifications

Pump Main Unit

 

Turbo molecular pump TMP-403LM TMP-403LMC TMP-403M TMP-403MC
Inlet flange VG150 / ICF203 / ISO160B / ISO160C
Outlet flange KF25
Cooling method Water Cooling fan
Ultimate pressure (after baking)
(Note1)
10-8 Pa order 10-7 Pa order 10-8 Pa order 10-7 Pa order
Maximum allowable inlet pressure
(N2 continuous exhaust)
200 Pa 1.3 Pa
Maximum allowable outlet pressure 400 Pa 40 Pa
Pumping speed
(Note 2)
N2 420 L/s
He 360 L/s
H2 340 L/s
Compression ratio N2 1 x 109
He 8 x 104
H2 1 x 104
Rated speed 45000 rpm
Start-up time 5 minutes or less
Mounting position In any desired direction
Bake-out temperature at an inlet flange 120 degrees C. or less
Vibration level (by Shimadzu's method) 0.012 µm or less (0-pea)
Recommended flow rate of purge gas 20 to 30 mL/min (Note 3)
Recommended pumping speed of backing pump in case of gas purge 200 L/min or more
Environmental Temperatures 0 to 40 degrees C.
Admissible ambient
magnetic field
Radial direction 3 mT
Axial direction 15 mT
Water Flow rate 1 to 3 L/min -
Pressure 0.2 to 0.5 MPa
Temperature 5 to 30 degrees C.
Mass 14 kg
  • (Note 1)When using a metal gasket at the inlet flange. When using an o-ring gasket, the ultimate pressure is 10-7 Pa order.
  • (Note 2)Without a protective net. Pumping speed for N2 is 400 L/s with a protective net.
  • (Note 3)mL/min : volume flow rate at 0 degrees C., 1 atm. (compatible with SCCM.)

 

Power Supply Unit

 

Power supply unit EI-S04M
Battery Not Necessary
Exchangeable compatibility The control cable and the fan cable are interchangeable between any pump and power supply unit.
Speed variation Speed is variable between 25 % and 100 % of the rated speed. (set as 0.1 %)
Communication Contact

REMOTE (MR-34)

Input : START / STOP / RESET / LOW SPEED

Output : ROTATION / ACC. / BRAKE / NORMAL / REMOTE / ALARM / WARNING

Serial

Front panel : RS-232C (D-sub 9 pin male, Screw lock size : M2.6)

Rear panel : RS-485 (D-sub 9 pin female, Screw lock size : M2.6)

Environmental conditions Temperature Operation 0 to 45 degrees C. (No dew condensation)
Relative humidity 40 to 80 %RH
Input electric power Voltage Single phase 100 to 120 VAC ± 10 % (50/60 Hz ± 2 Hz)
Single phase 200 to 240 VAC ± 10 % (50/60 Hz ± 2 Hz)
Maximum power 550 VA
Mass 8 kg


銷售方式:製造、批發、合作、服務、進口
銷售目標市場:台灣、中國大陸、香港、新加坡
詢價付款方式:T.T. 電匯、L/C 信用狀

競爭特點
多樣設計:旭豪真空科技有限公司提供SHIMADZU Turbo Molecular Pump TMP-403 Series 渦輪分子泵的多樣化設計
SHIMADZU Turbo Molecular Pump TMP-403 Series 渦輪分子泵接受進行原廠委託設計製造ODM
SHIMADZU Turbo Molecular Pump TMP-403 Series 渦輪分子泵接受進行原廠委託代工製造OEM

旭豪真空科技有限公司

 旭豪真空科技有限公司Shang Haur Vacuum Technology Co., Ltd.成立於1980年,累積近30年的真空專業技術為客戶提供最優質的服務與真空技術諮詢。主要產品:歐、美、日、韓等世界名廠在臺灣及大陸的總代理,項目包括離心幫浦,離心泵浦,真空幫浦,真空泵浦、鼓風機、壓縮機、真空錶、化工乾式真空泵浦、光學離子源、膜厚計、真空閥門、管件等工業必需品、離子及真空鍍膜機、鍍膜設備整廠輸出、粉粒體輸送設備、真空系統等,廣泛使用半導體、薄膜蒸鍍濺鍍、電子業、醫療醫院、食品業、化工業、光學工業、熱處理、鍍膜等各種工業。代理歐洲、美國、日本、韓國等知名品牌真空幫浦,如英國BOC Edwards(愛德華真空)、義大利P.V.R、義大利pompetravaini、美國Agilent Vacuum(瓦裏安真空)、美國Stokes Vacuum、瑞典PIAB、韓國Woosung、法國ALCATEL(阿爾卡特真空)、德國Oerlikon(來寶真空) 德國MANN+HUMMEL(曼牌過濾器)、日本ORION(奧立安)、日本ULVAC(優貝克)、日本島津SHIMADZU 等品牌代理。 產品包括:油迴轉式真空幫浦(Rotary Piston Vacuum Pump)、兩段式高真空幫浦(Two Stages High Vacuum Pump)、乾式真空幫浦(Dry Claw/Screw Vacuum Pump)、渦卷式乾式真空幫浦(Scroll Dry Vacuum Pump)、活塞式真空幫浦(Piston Vacuum Pump)、水封式真空幫浦(Liquid Ring Vacuum Pump)、耐酸鹼化工型真空幫浦(Chemical Dry Vacuum Pump)、螺旋乾式真空幫浦(SCREW  DRY VACUUM PUMP) 渦輪幫浦(Turbo Pump)、離心泵(Centrifugal Pump)、擴散泵浦(Diffusion Pump)、魯式助力幫浦(Roots Pump/Booster/High Vacuum Blower)、大型排氣真空系統(Center Vacuum System)、鼓風機(Blower)、粉粒真空輸送機(Vacuum Conveyor)、真空烘箱(Vacuum Oven)、真空鍍膜機(Vacuum Coater)、真空錶(Vacuum Gauge)、真空閥門(Vacuum Value)、真空油脂膏(Vacuum Grease)氦氣測漏儀 (HELIUM LEAK DETECTOR), 真空手套箱( VACUUM GLOVE BOX )等產品可供客戶洽詢選購。
      旭豪真空科技有限公司Shang Haur Vacuum Technology Co., Ltd., 為客戶提供堅實的維修團隊,確保每部幫浦或設備的正常運作,也提供他牌的維修與零件,如日本osaka vacuum,日本iwata,德國  BUSCH,德國BECKER,德國Rietschle WERIE,日本Sinko,等,我們提供維修的足跡遍及世界各國,遠至伊朗,南非等,希望我們的用心與努力,為客戶解決使用操作上的問題.客戶有關真空應用或使用上的問題,我們都樂意盡心的為客戶提供技術上的諮詢.
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