洞悉無形：半導體廠內真空幫浦，晶片良率的終極守護神！

一、廠內真空技術：半導體製程的生命線

半導體製造堪稱全球最精密的工藝系統之一，其中多數核心製程都必須在「高真空」環境下進行。真空泵浦即是維持這些關鍵廠內真空環境的基礎設備。

• 避免污染： 真空環境可以去除空氣中的塵埃、水氣和其他雜質，這些雜質會嚴重影響半導體元件的性能和可靠性。

• 控制製程： 真空可以精確控制材料的沉積和蝕刻，確保製造出所需的精細結構，例如薄膜沉積和蝕刻。

• 確保一致性： 真空環境可以保持製程條件的穩定性，從而確保每個晶片的品質一致，這是高良率的關鍵。

• 粒子傳輸： 在離子佈植等製程中，真空環境有助於提升離子能量傳遞與方向性，確保精確的摻雜。

• 熱傳導抑制： 減少熱擴散，確保溫控精度，這對於許多對溫度敏感的製程至關重要。

二、真空幫浦在半導體廠內製程中的應用與分類

無論是前段晶圓製程（如薄膜沉積、蝕刻、光刻、離子佈植）或後段封裝測試，「真空幫浦」的角色都不可或缺。真空泵浦依不同真空需求及應用場景，可分為下列幾大類：

• 乾式真空幫浦： 不使用油潤滑，潔淨無污染，特別適用於對潔淨度要求極高的蝕刻與化學氣相沉積 (CVD) 等前段製程，以及封裝中的真空烘烤、除氣、真空回流焊等。

• 渦輪分子幫浦： 以極高速葉輪運轉達成高真空，廣泛應用於物理氣相沉積 (PVD) 與光刻等製程，以及封裝過程中的真空鍍膜（如 PVD/PECVD）與特定氣密性測試。

• 低溫幫浦（Cryopump）： 利用冷凝氣體製造超高真空，適合極紫外光 (EUV) 等關鍵製程，以及對殘餘氣體要求極高的先進封裝製程。

• 吸附泵浦（Sorption Pump）： 低噪音、無振動，適用於廠內實驗室或需要極靜音環境的特殊製程。

• 羅茨幫浦： 作為輔助幫浦，提高抽氣效率與壓力穩定，常用於大腔體的快速抽真空應用，例如 Load Lock Chamber。

• 油式旋片幫浦： 成本低、結構簡單，多用於廠內非製程相關的後段製程或實驗用途，如真空脫泡或灌膠製程。

三、真空幫浦技術演進與未來趨勢

隨著半導體製程微縮化、設備自動化，真空幫浦亦持續朝以下方向進化，以滿足廠內生產的嚴苛需求：

• 極限真空與高潔淨： 滿足 EUV 與先進封裝（如 3D IC、Chiplet）對製程環境的嚴苛要求。

• 快速抽氣與高產能： 配合高通量生產節奏，縮短抽真空時間，提升廠內產能。

• 智慧監控／IoT 整合： 導入預測性維護、降低突發停機風險，提升廠內生產線的穩定性與稼動率。

• 模組化與節能設計： 提升設備彈性並響應永續趨勢，降低廠內營運成本。

四、台灣市場特性與在地真空幫浦供應商角色

台灣為全球晶圓代工與半導體封裝測試重鎮，對設備供應商的即時性、技術力與服務速度具高標準要求。選擇本地真空泵浦廠商，可確保：

• 更快到廠支援： 縮短維修響應時間，最大程度降低廠內停機損失。

• 熟悉台灣產線需求： 了解在地半導體廠內製程的獨特挑戰與需求。

• 客製化維修與系統整合能力： 提供針對性的解決方案，提升廠內設備效能。

五、旭豪真空科技有限公司（ShangHaur Vacuum Technology）：台灣專業半導體廠內真空幫浦供應商與維修商

旭豪真空科技深耕台灣真空設備領域多年，為眾多晶圓廠、封測廠與光電大廠提供關鍵支援，是值得信賴的真空泵浦合作夥伴。

• 代理品牌： Edwards、Leybold、Ebara、Busch、Pfeiffer 等歐、美、日、韓知名品牌，確保品質與選擇多樣性。

• 真空泵維修服務： 包括設備翻新、抽氣效能校正、精密零件更換，有效延長設備壽命，確保廠內生產穩定。

• 真空系統設計整合： 根據不同廠內製程條件客製規劃完整方案，優化產線效率。

• 在地服務優勢： 新北市設廠，支援快速維修、備品充足、技師經驗豐富，確保服務品質與效率。

六、常見問題 FAQ

• Q1：為何半導體廠內製程需要真空環境？

  A1： 為了避免微粒污染、精確控制化學反應速率、確保離子佈植的精準性、以及穩定溫度控制，這些都是保證晶片性能和可靠性的關鍵。

• Q2：廠內真空幫浦有哪些常見類型？

  A2： 包含乾式真空幫浦、渦輪分子幫浦、低溫幫浦、吸附泵浦、羅茨幫浦與油式旋片幫浦，各適用於廠內不同的真空需求與製程環節。

• Q3：乾式幫浦在廠內製程的重要性為何？

  A3： 其無油設計能確保廠內製程的潔淨度，避免油氣污染敏感元件，並具備耐腐蝕與高可靠度，是蝕刻、CVD、真空烘烤、回流焊等關鍵製程的首選。

• Q4：半導體廠選擇真空泵浦的標準有哪些？

  A4： 需達到製程所需的極低壓力、高潔淨度、高穩定性，並支援智慧監控與遠端預測維護功能，以提升廠內稼動率與良率。

• Q5：為何選擇在地供應商如旭豪真空？

  A5： 可快速響應廠內生產線的需求，提供客製化服務與完整售後支援，強化供應鏈彈性，降低突發停機風險。

• Q6：真空泵維修與保養在廠內生產中有多重要？

  A6： 定期保養能有效延長設備壽命、避免生產停機並降低營運成本，尤其對於連續運轉的半導體廠內產線至關重要。

• Q7：旭豪真空科技的合作對象有哪些？

  A7： 涵蓋台灣半導體產業的晶圓代工廠、封測廠、面板、光電、醫療、化工等領域的領先企業。

• Q8：若我有真空幫浦維修需求該怎麼做？

  A8： 只要聯絡旭豪，即可享有完整的維修、診斷、翻新與零件替換支援服務，確保您的廠內真空設備迅速恢復最佳狀態。

七、立即行動！強化您的半導體廠內製程核心動力！

有任何真空幫浦採購、維修、系統整合需求，歡迎聯繫旭豪真空科技，提供您最即時、專業的支援！

• 電話： +886-2-8076-3000

• Email： sh.vacuum@msa.hinet.net

• 聯絡人： 徐經理（Mark Hsu）｜手機：+886-932-392-460

• 官網： www.shang-haur.com

• 地址： 236 新北市土城區大安路 142 號

旭豪真空科技：您在半導體廠內真空領域最值得信賴的戰略夥伴！