半導體真空幫浦供應商|台灣半導體產業的隱形推手一、真空技術:半導體製程的生命線半導體製造堪稱全球最精密的工藝系統之一,其中多數核心製程(如蝕刻、沉積、光刻)都必須在「高真空」環境下進行。真空泵浦即是維持這些關鍵環境的基礎設備。避免污染:阻絕空氣中微粒或分子干擾製程。控制反應:精準調控氣體反應與薄膜沉積速率。粒子傳輸:提升離子能量傳遞與方向性。熱傳導抑制:減少熱擴散,確保溫控精度。二、真空幫浦在半導體製程中的應用與分類無論是前段晶圓製程或後段封裝測試,「真空幫浦」的角色都不可或缺。真空泵浦依不同真空需求及應用場景,可分為下列幾大類:乾式真空幫浦:不使用油潤滑,潔淨無污染,適用於蝕刻與CVD等製程