ULVAC 真空幫浦

ULVAC 是日本領先的真空技術公司，其生產的真空幫浦廣泛應用於半導體、電子、光電、材料及製藥等高科技產業的真空製程。ULVAC 提供多種類型的真空幫浦，以滿足不同工藝需求。

油式真空幫浦如油迴轉泵，適合需要高真空度及耐腐蝕的環境，提供穩定且強大的抽氣能力。乾式真空幫浦則包括螺桿型與膜片型設計，無需潤滑油，避免油污染，適合對潔淨度要求嚴格的製程。羅茨泵通常與油式或乾式泵搭配使用，能有效提升高真空範圍內的抽氣速率。油擴散幫浦則專注於創造超高真空，滿足最嚴苛的工藝條件。

ULVAC 真空幫浦在晶圓吸附、真空搬運、薄膜沉積等半導體製造關鍵工序中發揮核心作用，確保製程品質與效率。

總結來說，ULVAC 以多元化的真空幫浦產品線和卓越技術，成為高科技產業不可或缺的真空解決方案供應商。