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旭豪真空科技有限公司

 

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產品分類

 
公司名稱:旭豪真空科技有限公司
Shang Haur Vacuum Technology Co.,Ltd
 

地址:台灣 236 新北巿

土城區大安路142號

郵編:23673

電話:886-2-8076 3000
傳真:886-2-8076 3300
網站:www.shang-haur.com

聯繫人:徐建榮 MARK HSU
職位:經理
手機:886-932392460
電子郵件:
sh.vacuum@msa.hinet.net

聯繫人:林永瑞 Jeff Lin
職位:銷售經理
手機:886-
937885946
電子郵件:
jeff@sh-vacuum.com.tw
 
 
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渦輪分子泵 SHIMADZU Turbo Molecular Pump TMP-1103 Series

數量:
  • TMP-1103 Serie
  • SHIMADZU
渦輪分子泵 SHIMADZU Turbo Molecular Pump TMP-1103 Series
高壓縮比型
•氫壓縮比為106
•帶磁懸浮的無電池渦輪分子泵
•緊湊的泵體和電源單元
•無調音
•標準配備符合RS-232C標準的串行接口。
•符合CCE標誌,SEMI-S2和NRTL軸承。
 
高壓縮比型
真空和工業機械
•氫壓縮比為106
 
濺射過程可防止有害的氫分壓增加。也可以使用輔助泵。
 
•帶磁懸浮的無電池渦輪分子泵
 
電源單元免維護。
 
•緊湊的泵體和電源單元
 
半機架式電源裝置
 
•無調音
 
泵,電源裝置和電纜可互換,易於更換。
 
•標準配備符合RS-232C標準的串行接口。
 
通過監控速度和電機電流,可以在早期階段找到泵系統的異常情況。
 
•符合CCE標誌,SEMI-S2和NRTL


Standard Specifications

Pump Main Unit
Turbo molecular pump TMP-1103LMP TMP-1103LMPC TMP-1103MP TMP-1103MPC
Inlet flange VG200 / ICF253 / ISO200B
Outlet flange KF40
Cooling method Water Cooling fan
Ultimate pressure (after baking)
(Note1)
10-9 Pa order 10-8 Pa order 10-9 Pa order 10-8 Pa order
Maximum allowable inlet pressure
(N2 continuous exhaust)
70 Pa 1.3 Pa
Maximum allowable outlet pressure 800 Pa 270 Pa
Pumping speed
(Note 2)
N2 1080 L/s
He 1040 L/s
H2 800 L/s
Compression ratio N2 109
He 107
H2 106
Rated speed 36000 rpm
Start-up time 5 minutes or less
Mounting position In any desired direction
Bake-out temperature at an inlet flange 120 degrees C. or less
Vibration level (by Shimadzu's method) 0.01 µm or less (0-peak)
Recommended flow rate of purge gas 20 to 30 mL/min (Note 3)
Environmental Temperatures 0 to 40 degrees C.
Admissible ambient
magnetic field
Radial direction 3 mT
Axial direction 15 mT
Water Flow rate 1 to 3 L/min -
Pressure 0.2 to 0.5 MPa
Temperature 5 to 30 degrees C.
Mass 32 kg or less
Corrosion resistance coating of a rotor N/A Coating N/A Coating
  • (Note 1)When using a metal gasket at the inlet flange. When using an o-ring gasket, the ultimate pressure is 10-7 Pa order.
  • (Note 2)Without a protective net.
  • (Note 3)mL/min : volume flow rate at 0 degrees C., 1 atm. (compatible with SCCM.)
Power Supply Unit
Power supply unit EI-R04M
Battery Not Necessary
Exchangeable compatibility The control cable and the motor cable are interchangeable between any pump and power supply unit.
Speed variation Speed is variable between 25 % and 100 % of the rated speed. (set as 0.1 %)
Communication Contact REMOTE (MR-34)
Input : START / STOP / RESET / LOW SPEED
Output : ROTATION / ACC. / BRAKE / NORMAL / REMOTE / ALARM / WARNING
Serial
Front panel : RS-232C (D-sub 9 pin male, Screw lock size : M2.6)
Rear panel : RS-485 (D-sub 9 pin female, Screw lock size : M2.6)
Environmental conditions Temperature Operation 0 to 45 degrees C. (No dew condensation)
Relative humidity 40 to 80 %RH
Input electric power Voltage Single phase 200 to 240 VAC ± 10 % (50/60 Hz ± 2 Hz)
Maximum power 1.0 kVA
Mass 8 kg


銷售方式:製造、批發、合作、服務、進口
銷售目標市場:台灣、中國大陸、香港、新加坡
詢價付款方式:T.T. 電匯、L/C 信用狀

競爭特點
多樣設計:旭豪真空科技有限公司提供渦輪分子泵 SHIMADZU Turbo Molecular Pump TMP-1103 Series的多樣化設計
渦輪分子泵 SHIMADZU Turbo Molecular Pump TMP-1103 Series接受進行原廠委託設計製造ODM
渦輪分子泵 SHIMADZU Turbo Molecular Pump TMP-1103 Series接受進行原廠委託代工製造OEM
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