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渦輪分子泵SHIMADZU Turbo Molecular Pump SHIMADZU PUMP TMP-B300

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渦輪分子泵SHIMADZU Turbo Molecular Pump SHIMADZU PUMP TMP-B300

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型號：
TMP-B300
產品品牌：
SHIMADZU

產品描述

組合軸承

•長壽命軸承機構可降低維護成本。

•泵可與小型前級泵組合使用。

•泵可以任何方向安裝。

磁性和陶瓷軸承的組合

專有的阻尼機構用於實現低振動和軸承冷卻功能，另外還提供高可靠性和長使用壽命。

該泵可與小型前級泵結合使用。

渦輪葉片和分子拖曳泵的組合即使在高背壓水平下也能實現超高真空。

如果與小型乾式真空泵（如隔膜泵）結合使用，可以實現超高真空壓力。

泵可以任何方向安裝。

泵單元可以垂直，水平或倒置方向安裝。

Standard Specifications

Turbo molecular pump model	TMP-B300
Cooling method	Convection	Forced air by cooling fan
Ultimate pressure(note 2)	After baking	−(note 1)	10-8 Pa order (note 2)
Non-baking	10-6 Pa order	10-6 Pa order
Pumping speed(note 3)	N2	280 L/s	280 L/s
He	270 L/s	270 L/s
H2	220 L/s	220 L/s
Compression ratio	N2	> 1 x 109	> 1 x 109
He	7×106	7×106
H2	1×105	1×105
Critical backing pressure	1500 Pa	1500 Pa
Maximum allowable continuous backing pressure(note 4)	N2	100 Pa (ambient < 35°C)	1000 Pa (ambient 25°C) 930 Pa (ambient 35°C)
Maximum allowable gas throughput at continuous pumping	10 SCCM (ambient 25°C) 4 SCCM (ambient 35°C)	100 SCCM (ambient 25°C) 40 SCCM (ambient 35°C)
weight	VG, ISO	6 kg	6.3 kg
ICF	9 kg	9.3 kg
Bearing type	Passive magnetic bearing and ceramic bearing
Inlet flange	VG100, DN100CF, ISO100K
Outlet port	KF16
Rated speed	60000 rpm
Stat-up time（up to 80 %）	3.5 minutes
Mounting direction	In any desired direction
Noise [Shimadzu's method](note 5)	≤ 50 dBA
Admissible ambient magnetic field	Radial direction	3 mT
Axial direction	15 mT
Input electric power	Voltage	DC24 V ± 5 %
Maximum power	180 W

(Note 1)Only pumps equipped with a CF flange and cooling fan can be baked.
(Note 2)When using a two-stage oil-sealed rotary pump as an auxiliary pump.
(Note 3)When no protective net is used. Pumping speed for N2 is 260 L/s when a protective net is used.
(Note 4)Maximum allowable backing pressure for continuous running when gas throughput at inlet port is 0 mL/min
(Note 5)Measured for the ISO flange model.

銷售方式：製造、批發、合作、服務、進口
銷售目標市場：台灣、中國大陸、香港、新加坡
詢價付款方式：T.T. 電匯、L/C 信用狀

競爭特點
多樣設計：旭豪真空科技有限公司提供渦輪分子泵SHIMADZU Turbo Molecular Pump SHIMADZU PUMP TMP-B300的多樣化設計
渦輪分子泵SHIMADZU Turbo Molecular Pump SHIMADZU PUMP TMP-B300接受進行原廠委託設計製造ODM
渦輪分子泵SHIMADZU Turbo Molecular Pump SHIMADZU PUMP TMP-B300接受進行原廠委託代工製造OEM

Turbo molecular pump model	TMP-B300
Cooling method	Convection	Forced air by cooling fan
Ultimate pressure(note 2)	After baking	−(note 1)	10-8 Pa order (note 2)
Non-baking	10-6 Pa order	10-6 Pa order
Pumping speed(note 3)	N2	280 L/s	280 L/s
He	270 L/s	270 L/s
H2	220 L/s	220 L/s
Compression ratio	N2	> 1 x 109	> 1 x 109
He	7×106	7×106
H2	1×105	1×105
Critical backing pressure	1500 Pa	1500 Pa
Maximum allowable continuous backing pressure(note 4)	N2	100 Pa (ambient < 35°C)	1000 Pa (ambient 25°C) 930 Pa (ambient 35°C)
Maximum allowable gas throughput at continuous pumping	10 SCCM (ambient 25°C) 4 SCCM (ambient 35°C)	100 SCCM (ambient 25°C) 40 SCCM (ambient 35°C)
weight	VG, ISO	6 kg	6.3 kg
ICF	9 kg	9.3 kg
Bearing type	Passive magnetic bearing and ceramic bearing
Inlet flange	VG100, DN100CF, ISO100K
Outlet port	KF16
Rated speed	60000 rpm
Stat-up time（up to 80 %）	3.5 minutes
Mounting direction	In any desired direction
Noise [Shimadzu's method](note 5)	≤ 50 dBA
Admissible ambient magnetic field	Radial direction	3 mT
Axial direction	15 mT
Input electric power	Voltage	DC24 V ± 5 %
Maximum power	180 W