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旭豪真空科技有限公司

 

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產品分類

 
公司名稱:旭豪真空科技有限公司
Shang Haur Vacuum Technology Co.,Ltd
 

地址:台灣 236 新北巿

土城區大安路142號

郵編:23673

電話:886-2-8076 3000
傳真:886-2-8076 3300
網站:www.shang-haur.com

聯繫人:徐建榮 MARK HSU
職位:經理
手機:886-932392460
電子郵件:
sh.vacuum@msa.hinet.net

聯繫人:林永瑞 Jeff Lin
職位:銷售經理
手機:886-
937885946
電子郵件:
jeff@sh-vacuum.com.tw
 
 
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SHIMADZU Turbo Molecular Pump TMP-X2905 Series 渦輪分子泵

數量:
  • SHIMADZU
  • SHIMADZU
SHIMADZU Turbo Molecular Pump TMP-X2905 Series 渦輪分子泵

帶集成電源單元的類型
•緊湊
•節能
•無需安裝電纜或使用控制架
•改善泵送性能
•由於直接輸入交流電源,因此無需單獨供電。

TMP-X2905系列
•緊湊
 
高度比之前型號(TMP-V3304)低15%,帶有集成電源裝置。
 
•節能
 
與使用單獨電源裝置(無負載)的先前型號相比,功耗約低15%。
 
•支持硬流程
 
由於溫度調節功能和改進的電機驅動輸出,泵甚至可以在存在反應產物和使用腐蝕性氣體的過程中使用。

Standard Specifications

 

Turbo molecular pump TMP-X2905LMTC
Inlet flange VG250 / ISO250B
Outlet flange KF40
Cooling method Water
Ultimate pressure (after baking) 10-7 Pa order
Maximum allowable Argon gas flow rate
(Note 1)
800 mL/min (Note 2)
(Pump's set temperature : 65 degrees C.)
Maximum allowable inlet pressure
(N 2 continuous exhaust) (Note 1)
40 Pa
Maximum allowable outlet pressure
(N 2 continuous exhaust) (Note 1)
270 Pa
Pumping speed
(Note 3)
N2 2500 L/s
Ar 2400 L/s
H2 1800 L/s
Compression ratio N2 2 x 108
H2 2 x 103
Rated speed 27600 rpm
Start-up time 12 minutes or less
Mounting position In any desired direction
Vibration level (by Shimadzu's method) 0.05 µm or less (0- Peak)
Recommended pumping speed of backing vacuum pump in case of gas purge 2000 L/min or more
Display LED POWER / ROTATION / TEMP.CONTROL / ALARM
Communication Contact

REMOTE (D-sub 25 pin female, Screw lock size UNC 4-40)

Input : START / STOP / RESET / LOW SPEED

Output : ROTATION / NORMAL / ACC. / BRAKE / REMOTE / TEMP.STABLE / ALARM / WARNING

Serial RS-232C / RS-485
Speed variation Speed is variable between 25 % and 100 % of the rated speed (set as 0.1 %).
Water Flow rate 3 L/min or more
Pressure 0.2 to 0.4 MPa
Temperature 19 to 30 degrees C. (above dew point)
Admissible ambient magnetic field Radial direction 3 mT
Axial direction 15 mT
Input electric power Voltage Single phase 200 to 240 VAC ± 10 % (50 / 60 Hz ± 2 Hz)
Maximum power 2.1 kVA
Mass 115 kg
  • (Note 1)Maximum allowable flow rate, Maximum allowable inlet pressure and Maximum allowable outlet pressure can not be satisfied at same time.
  • (Note 2)mL/min : volume flow rate at 0 degrees C., 1 atm. (Compatible with SCCM.)
  • (Note 3)Without a protective net. Pumping speed for N2 is 2300 L/s with a protective net.


銷售方式:製造、批發、合作、服務、進口
銷售目標市場:台灣、中國大陸、香港、新加坡
詢價付款方式:T.T. 電匯、L/C 信用狀

競爭特點
多樣設計:旭豪真空科技有限公司提供SHIMADZU Turbo Molecular Pump TMP-X2905 Series 渦輪分子泵的多樣化設計
SHIMADZU Turbo Molecular Pump TMP-X2905 Series 渦輪分子泵接受進行原廠委託設計製造ODM
SHIMADZU Turbo Molecular Pump TMP-X2905 Series 渦輪分子泵接受進行原廠委託代工製造OEM
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