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旭豪真空科技有限公司

 

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產品分類

 
公司名稱:旭豪真空科技有限公司
Shang Haur Vacuum Technology Co.,Ltd
 

地址:台灣 236 新北巿

土城區大安路142號

郵編:23673

電話:886-2-8076 3000
傳真:886-2-8076 3300
網站:www.shang-haur.com

聯繫人:徐建榮 MARK HSU
職位:經理
手機:886-932392460
電子郵件:
sh.vacuum@msa.hinet.net

聯繫人:林永瑞 Jeff Lin
職位:銷售經理
手機:886-
937885946
電子郵件:
jeff@sh-vacuum.com.tw
 
 
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SHIMADZU TMP-V3304LM(F) Turbo Molecular Pump 渦輪分子泵

數量:
  • TMP-V3304LM(F)
  • SHIMADZU
 SHIMADZU PUMP
TMP-V3304LM(F)
帶集成電源單元的類型
•緊湊
•節能
•無需安裝電纜或使用控制架
•改善泵送性能
•由於直接輸入交流電源,因此無需單獨供電。

•帶集成電源的TMP
 
由於直接輸入交流電源,因此無需單獨的電源。
 
•緊湊,高抽速
 
在比Shimadzu之前的型號小一個尺寸的車身上實現了高抽速。
 
•可變泵速
 
泵速可設定在25%至100%的範圍內。

Standard Specifications

Turbo molecular pump (Note 1) TMP-V3304LM (F)
Inlet flange VG300 / ISO320B / VG350
Outlet flange KF40
Cooling method Water
Ultimate pressure (after baking) 10-7 Pa order
Maximum allowable Argon gas flow rate
(Note 2)
1500 mL/min (Note 3)
Maximum allowable inlet pressure
(N2 continuous exhaust) (Note 2)
7 Pa
Maximum allowable outlet pressure
(N2 continuous exhaust) (Note 2)
270 Pa
Pumping speed
(Note 4)(Note 5)
N2 3200 L/s
Ar 3100 L/s
Compression ratio N2 1×109 or more
He 1×105
H2 6×103
Rated speed 27600 rpm
Start-up time 16 minutes or less
Mounting position In any desired direction
Vibration level (by Shimadzu's method) 0.01 µm or less (0-peak)
Recommended pumping speed
of backing pump in case of gas purge
1500 L/min or more
Display LED POWER / STATUS / ROTATION / NET
Communication Contact

REMOTE (D-sub 37 pin female, Screw lock size M2.6)

Input : START / STOP / RESET / LOW SPEED

Output : ROTATION / ACC. / BRAKE / NORMAL / REMOTE / ALARM / WARNING / CONNECTION

Serial RS-232C / RS-485 (D-sub 9 pin male, Screw lock size M2.6)
Speed variation Speed is variable between 25 % and 100 % of the rated speed. (set as 0.1 %)
Water Flow rate 3 to 4 L/min
Pressure 0.2 to 0.4 MPa
Temperature 19 to 30 degrees C. (above dew point)
Admissible ambient magnetic field Radial direction 3 mT
Axial direction 15 mT
Input electric power Voltage Single phase 200 to 240 VAC ± 10 % (50 / 60 Hz ± 2 Hz)
Maximum power 1.2 kVA
Mass 94 kg
  • (Note 1)(F) apply ferromagnetic steel with nickel plating.
  • (Note 2)Maximum allowable flow rate, Maximum allowable inlet pressure and Maximum allowable outlet pressure can not be satisfied at same time.
  • (Note 3)mL/min : volume flow rate at 0 degrees C., 1 atm. (Compatible with SCCM.)
  • (Note 4)Without a protective net. Pumping speed for N2 is 2900 L/s with a protective net.
  • (Note 5)Do not use corrosive gas because there is possibility that the pump breaks down by the product material.


銷售方式:製造、批發、合作、服務、進口
銷售目標市場:台灣、中國大陸、香港、新加坡
詢價付款方式:T.T. 電匯、L/C 信用狀

競爭特點
多樣設計:旭豪真空科技有限公司提供SHIMADZU TMP-V3304LM(F) Turbo Molecular Pump 渦輪分子泵的多樣化設計
SHIMADZU TMP-V3304LM(F) Turbo Molecular Pump 渦輪分子泵接受進行原廠委託設計製造ODM
SHIMADZU TMP-V3304LM(F) Turbo Molecular Pump 渦輪分子泵接受進行原廠委託代工製造OEM
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